OXYMAT64能提供可靠的微量氧含量測量，最小量程可達0-10 ppm。OXYMAT 64的設計考慮到了一些特殊的應用需求，諸如空分裝置、特種氣體生產(chǎn)、焊接保護等眾多應用領域, 還被運用于化工，食品等不同產(chǎn)業(yè)領域。

OXYMAT 64采用氧化鋯傳感器，管狀的傳感器在650度高溫下測量恒定氣流。管狀傳感器的內(nèi)外壁就如同電極。傳感器外部接觸環(huán)境空氣，內(nèi)外接觸氣體的氧濃度差異導致了氧分壓的不同。氧化鋯在650度的溫度下可傳導電子，離子會向氧分壓低的方向運動。兩電極上的電勢差即可用于氧濃度的測量。

根據(jù)應用需要，可選催化活躍型和非催化活躍型氧化鋯傳感器。這兩種傳感器采用不同材質，在處理可燃氣體對電極的影響也相異。

此兩種傳感器均具有高線性度，且分析儀具備了所有西門子6系列氣體分析儀的優(yōu)點，比如直觀的界面操作和開放接口架構等。